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MU-60

LED 기반 자외선 노광기

MU-60은 리소그래피 공정과 경화에 사용하기위한 벤치 탑 UV 노광 시스템입니다. 반도체 공정을 위한 리소그래피 공정을 수행을 위해, 마스크 정렬기의 비용, 부피 및 예열 시간으로 인해 어려움이 있는 연구자를 위해 설계되었습니다. 기존 메이크 얼라이너에 비해 MU-60은 굉장히 작으며, MU-60은 LED 기반이기 때문에 예열이 필요없고 기계를 켠 직후에 바로 노출이 가능합니다. MU-60의 출력 빔은 시준되어 수직 벽으로 높은 종횡비로 제작되었습니다. 시준은 마스크와 기판 사이의 접촉이 느슨하더라도 노출 적합성을 향상시킵니다. MU-60의 출력 전력은 조정 가능하며 실시간으로 모니터링 및 표시됩니다. MU-60에는 7 인치 터치 스크린이 장착되어 사용자는 노출 시간 또는 노출 에너지를 설정할 수 있습니다. 다단계 노출이 필요한 고객은 선택적 정렬 모듈을 사용할 수 있습니다.

장점:

- 수은램프를 사용 하지 않아 반영구적 사용 가능

- 예열 시간 필요 없음

- 작은 사이즈, 공간 효율성

- 작은 전환 각도(마스크와 웨이퍼 사이의 접촉이 느슨하더라도 수직 측벽은 물론 더 나은 패턴 적합성을 보장)

- 요청시 사용자 맞춤 설정 가능

제품사양:

- 파장 : 365 nm (사용자 환경에 변경 가능)

- 광 출력 : 5 – 30 mW/츠^2

- 불균일성: ± 5%

- 전환각도< 1.5°

- 기판 : 원형 6” 웨이퍼 까지 가능  

-제품 크기: W 490 × D 340 × H 480 (mm)

- 무게: 20 kg

- 7" 터치스크린 내장